Узел контроля

Технические характеристики

  •  наличие 4-х позиционного кварцевого датчика с водяным охлаждением;
  •  наличие устройства смены свидетелей;
  •  количество свидетелей                                                                  8шт
  • размеры свидетеля                                                                                    Ø18х4
  • ввод охлаждения и электрического сигнала: через фланец в верхней плите камеры.

Принцип работы Узла контроля

В течение технологического процесса напыления покрытие наносится на поверхности свидетеля и кварца, также как и на поверхность подложек.

Свидетель является частью оптической системы СОК. Свет, прошедший через свидетеля или отраженный от его поверхности, попадает на торец световода, соединенного с блоком управления и регистрации. Контроль покрытия по свидетелю происходит в полуавтоматическом режиме работы ВТО.

Кварц во время технологического процесса изменяет внутреннюю частоту колебаний. Блок кварцевого контроля SQM-160, расположенного в шкафу электротехническом, пересчитывает изменение частоты колебаний кварца в скорость напыления в Ао/с. Контроль покрытия по кварцу происходит в автоматическом режиме работы ВТО.

Для эффективности процесса контроля напыления происходит автоматическая смена свидетелей и кварцевых таблеток.

Узел контроля снабжен датчиками позиционными начального положения, относительно датчиков поворачиваются приводы смены кварцев и свидетелей.

Общий вид узла контроля представлен на Рис 1.:

 

1 - двигатель

2 - охладитель

3 - датчик кварцевый

4 - вакуумный ввод вращения

5 - карданный вал

6 - кассета со свидетелями

7 - свидетель

8 - кварц

9 - датчик позиционный

Список продукции