End-Hall источник Стрелок-2

Изовак представляет свою новейшую разработку - Ионный источник ассистирования "СТРЕЛОК-2"

Ионный источник холловского типа "СТРЕЛОК-2" разработан для формирования высокоинтенсивных низкоэнергетичных потоков ионов в вакууме. Монтаж источника осуществляется внутри камеры или на фланце. Управление ручное или в автоматическом режиме от блока питания Изовак серии IPS-A.

Назначение и области применения

Предназначен для ионной очистки подложек и ассистирования процессов нанесения пленочных покрытий методами испарения и распыления в вакууме.  Может также применяться для синтеза покрытий из газовой фазы , реактивного травления, осуществления плазмо-химических реакций и других технологических процессов, а также для научных целей.

Особенности конструкции торцевого холловского ускорителя "Стрелок-2"

  • Существенно снижена степень распыления элементов ионного источника по сравнению с зарубежными аналогами.
  • Расширен динамический диапазон рабочих давлений благодаря примененным техническим решениям.
  • Примененная в источнике система на постоянных магнитах позволила уменьшить габариты и сократить число блоков питания. Оригинальная система водяного охлаждения позволяет избежать перегрева при максимальной мощности работы несмотря на малые габариты источника.

Более подробную техническую информацию вы можете получить скачав брошюру либо выслав запрос по источнику ассистирования.

Список продукции