Протяженные магнетроны

Применение

·         Нанесение защитно-декоративный покрытий;

·         Нанесение оптических и дисплейных покрытий и структур;

·         Нанесение функциональных слоев для микро-, нано- и оптоэлектроники.

Достоинства

·         Оптимизированные параметры магнитной ловушки обеспечивают высокую выработку мишеней;

·         Положение анода позволяет увеличить время работы без обслуживания и снизить дефектность покрытия;

·         Возможность распыления в ВЧ режиме;

·         Встроенные в анод многозонные газораспределители;

·         Эффективная система охлаждения обеспечивает работу на повышенных мощностях;

·         Возможность согласованной работы более нескольких МРС одновременно.

·         Конструктивные особенности обеспечивают нанесение металлических покрытий и прозрачных проводящих покрытий при пониженных напряжениях разряда

Представленные в таблице МРС могут быть изготовлены различной длинны во фланцевом и внутрикамерном исполнении.

Ширина мишени, мм

Тип магнитной системы

Количество мишеней

Коэффициент использования мишениKTU, %

Режим работы

74

Сбалансированный двухполюсник

2

25-30

Постоянный и переменный ток

90

Модифицированный сбалансированный двухполюсник

1

25-30

Постоянный и переменный ток

100

Сбалансированная двухполюсник

1

25-30

Постоянный и переменный ток

100

Сбалансированная многополюсная

1

30-40

Постоянный и переменный ток

125

Сбалансированная многополюсная

1

30-40

Постоянный и переменный ток

150

Сбалансированная многополюсная

1

35-45

Постоянный и переменный ток, ВЧ

200

Сбалансированная многополюсная

1

35-40

Постоянный и переменный ток, ВЧ

 

Опции

·         Подача ВЧ потенциала, для распыления диэлектрических мишеней;

·         МРС с усиленной МС для распыления при пониженном напряжении;

·         Индивидуальный газаввод;

·         Охлаждаемый анод;

·         Специальные вводы и фланцы;

Список продукции