Invisio M

Серия Invisio M является новым развитием методов контроля спектров покрытий при напылении в вакууме. Применение в данной серии современных фотоприемников позволяет проводить слежение за процессом с более высокой точностью и стабильностью.

Типы контролируемых покрытий

  • Оптические фильтры
  • Спектроделители
  • Лазерные покрытия
  • Зеркала
  • ИК-покрытия
  • Другие многослойные оптические покрытия УФ, видимого, ближнего ИК диапазонов

Достоинства

  • Широкий диапазон измерений

Система оснащается современными фотодетекторами, работающими в диапазоне от 200 до 5000 нм. Система позволяет производить измерение спектра покрытия в процессе напыления.

  • Высокая точность и стабильность измерений

Применяемые корректирующие фильтры и помехозащищенные системы обработки модулированных сигналов позволяют получать максимальное отношение сигнал/шум во всем спектральном интервале.

  • Автоматический контроль

Серия Invisio M может работать в составе общей системы управления технологическим процессом напыления и позволяет останавливать процесс при достижении заданных параметров спектра покрытия.

  • Удобство монтажа

Все узлы питания и обработки сигнала помещаются в корпус монохроматора ММ101 (кроме источника питания УФ лампы). Монтаж системы на вакуумные установки производится легко и быстро.

  • Гибкость в выборе спектрального диапазона

Широкий набор источников излучения и приемников позволяет выбирать необходимый спектральный диапазон для решения конкретных задач. Максимально возможный диапазон составляет 200-5000 нм.

Основные технические характеристики серии Invisio M

Параметр

Значение параметра

Оптическая схема монохроматора

Черни-Тернера

Спектральный диапазон, нм

200-1100, 200-1700, 200-2600, 380-1100, 380-1700, 380-2600, 380-5000, 1200-5000

Спектральное разрешение (ширина щелей 200 мкм), не хуже

решетка 600 штр/мм (200-1100), нм

решетка 300 штр/мм (1100-3000), нм

решетка 150 штр/мм (3000-5000), нм

 

 

1,5

3,0

6,0

Воспроизводимость длины волны, нм

0,2 (для решетки 600 штр/мм)

Точность установки длины волны, нм

0,4 (для решетки 600 штр/мм)

Фотометрические функции

%T, %R

Точность измерения

<0,002 T*

Воспроизводимость измерения

0,005 T*

Стабильность базовой линии

0,01T/час*

Уровень рассеянного света

0,002 Tмакс

Источник света:

Дейтериевая лампа

Галогеновая лампа

 

Hamamatsu L7298

Narva 55919 12V 20W

Максимальная потребляемая мощность, Вт

100

Питание

220 В, 50 Гц

* После 30 мин прогрева дейтериевой лампы и 10 мин прогрева галогеновой лампы

Список продукции