Invisio S

Напыление многослойных неравнотолщинных оптических покрытий теперь может быть проведено с более высокой точностью и повторяемостью, благодаря системе спектрального оптического контроля Invisio S. Данная система позволяет наблюдать изменение всего спектра растущего покрытия непосредственно при напылении, а также осуществлять послойную корректировку покрытия.

Типы контролируемых покрытий

  • Оптические фильтры
  • Спектроделители
  • Лазерные покрытия
  • Зеркала
  • ИК-покрытия
  • Другие многослойные оптические покрытия УФ, видимого, ближнего ИК диапазонов

Достоинства

  •  Адаптивность системы оптического контроля Invisio S к любым вакуумным установкам

Оптическая система основана на модульном принципе с применением световодов, что позволяет монтировать ее в любой вакуумной установке независимо от ее конфигурации.

  •  Высокое быстродействие

В качестве устройств регистрации используются спектрометры на быстродействующих малошумящих КМОП-линейках. Это дает возможность получать всю спектральную характеристику в процессе напыления покрытия с минимальными задержками измерений.

  •  Модулированный источник света

Обеспечивает повышенную точность и стабильность измерений. Исключает влияние окружающих засветок на результаты измерений.

  •   Компактность

Все компоненты системы отличаются малыми габаритами и весом, что позволяет монтировать их на камерах малых размеров и в труднодоступных местах.

  •  Гибкость в выборе спектрального диапазона

Реализация системы в виде отдельных модулей позволяет выбирать необходимый спектральный диапазон для решения конкретных задач.

Основные технические характеристики серии Invisio S

Параметр

Значение параметра

Спектральный диапазон, нм

200 –1100,380 –740, 380 –1100, 380 –1700, 1000 –1700

Спектральное разрешение, нм

0,8 (200-380)

1,6 (380-1100)

3,2 (1000-1700)

Воспроизводимость длины волны, нм

0,4

Точность установки длины волны, нм

0,8

Фотометрические функции

%T, %R

Источник света

Галогеновая лампа, Дейтериевая лампа (200-380, ручная перестановка)

Точность измерения

0,01Tмакс*

Воспроизводимость измерения

0,002 Tмакс*

Стабильность базовой линии

0,005 Tмакс/час (30 мин прогрева)

Уровень рассеянного света

0,002 Tмакс

Приемник

S8378 – 512Q

Выходной порт

USB 2.0

Потребляемая мощность, W          

80

Питание

220 В, 50 Гц

* Режим измерений: время накопления – 40 мс, число усреднений – 10.

Список продукции