Diamanta

Вакуумная установка предназначена для нанесения износос тойких просветляющих алмазоподобных (DLC ) равномерных по толщине покрытий на  германиевые и кремниевые детали размером до 370×420×40 мм для ИК-диапазона спектра (на области 3-5 мкм и 7-14 мкм), с оптическим контролем толщины покрытия в процессе нанесения.

Параметры, характеристики

Величина

Размер обрабатываемой подложки, мм

370х420

Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки,  не выше, Па

8 х10-4

Время достижения предельного остаточного давления, не более, мин

60

Время достижения давления  1 х 10-3 Па  в чистой камере с начала высоковакуумной откачки, не более, минут

30

Количество вакуумных камер шт.

2

Метод загрузки подложек

Через шлюзовую камеру

Натекание в камеру в течение  10 часов, не более, л Па/с

1 х 102

Количество Ионных источников, шт

2

Неравномерность покрытий по толщине для всей поверхности подложкодержателя не должна превышать, %

+/-3

Масса, не более, кг,

2000

Потребляемая мощность, не более, кВт,

20

 
Список продукции