Elato 600

Elato является зарегистрированной компанией Изовак торговой маркой

Применение:

Напыление тонких плёнок для научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок.

Мелкосерийное производство.

 

Особенности:

·        Возможность использования различных технологических устройств и подложкодержателей

·        Возможность встраивания в чистую комнату    

·        Наличие шлюза (опция)

Технические характеристики

Камера

600 мм

Производительность / загрузка

 

Откачные средства

ВТО оснащено безмасляным форвакуумным насосом для предварительной откачки и системой высоковакуумной откачки с использованием турбомолекулярных насосов.

Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки,  не выше, Па

1 х10-5

Контроль покрытий

Система кварцевого контроля предназначена для измерения физической толщины наносимых пленок во время распыления, автоматического управления и поддержания заданной скорости нанесения материала.

 

Система оптического контроля (опция)

Система контроля по времени (опция)

Подложкодержатель

Планетарного типа

Нагрев

ИК, ТЭН, максимальная температура нагрева подложек – 400 °С

Технологические устройства

Электронно-лучевой источник, резистивный испаритель,

Ионный источник (возможная опция), магнетрон (возможная опция)

Требования к ресурсам

Вода

Дистиллированная

Сжатый воздух

Осушенный, без масла, 6-8 бар

Электроэнергия

Напряжение – 380/220 В ±10%, частота - 50 Гц. ±2%

Аргон

Давление – 0,1±0,01 МПа, Качество –  по ГОСТ 10157-79, чистота 99,99%, Расход - не более 0.2 л/мин

Кислород

Давление – 0,1±0,01 МПа,  Качество – по ГОСТ 5583-78, чистота 99,7%, Расход - не более 0.2 л/мин

Занимаемая площадь

1573х2000х1996

Масса, кг

1200

 

Также, вы можете ознакомится с другими установками серии Elato:

Elato Ш

- Elato 350

Список продукции