Elato- Ш

Elato является зарегистрированной компанией Изовак торговой маркой . Устройство вакуумной установки  Elato

Вакуумное напылительное оборудование Elato  выполнено в виде моноблока. Вакуумная установка состоит из поста вакуумного, установленного на металлическом каркасе, и шкафа электротехнического.

Вакуумный пост в свою очередь состоит из камеры вакуумной технологической с установленной в ней оснасткой внутрикамерной, камеры шлюзовой с установленной на ней системой вращения подложек. Камеры разделены затвором высоковакуумным. В камере вакуумной технологической происходит подготовка подложек к нанесению покрытия и последующее напыление в соответствии с технологическим маршрутом. Камера шлюзовая с системой вращения подложек служат для возможности смены образцов без развакуумирования камеры вакуумной технологической. В шкафу электротехническом размещены блоки управления и питания.

Для высоковакуумной откачки камер применяется турбомолекулярне насосы. Для предварительной откачки камер и обеспечения поддержки турбомолекулярных насосов используется «сухой» механический насос. Откачка вакуумной камер на рабочий вакуум происходит в автоматическом режиме.

Загрузка подложкодержателя с подложками в вакуумную камеру и их замена осуществляется оператором вручную при поднятой системе вращения подложек

Технические характеристики

Параметры, характеристики

Величина

1.             

Объем камеры вакуумной технологической, м3

0,065

2.            

Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки,  не выше, Па

5 х10-4

3.                 

Время достижения остаточного давления 5 10-4Па, не более, мин

30

4.               

Температура прогрева шлюзовой камеры не менее, °С

400

5.                 

Точность поддержания температуры на подложке ,°С

± 10

6.                 

Диапазон регулировки расстояния от испарителя до образца, мм

250…350

7.                 

Неравномерность по толщине напыляемого слоя на подложку диаметром 76 мм(при регулировке расстояния от испарителя до образца) %;

±(1,5…5)

8.                 

Масса,не более, кг,

1200

9.                 

Габариты (ДхШхВ), не более ,мм

2350х2090х2400

10.               

Потребляемая мощность, не более, кВт,

30

 

Также, вы можете ознакомится с другими установками серии Elato:

Elato 600

- Elato 350

Список продукции