IzoLine АВРОРА-М

Линейная вертикальная напылительная установок IzoLine AURORA обеспечивает напыление покрытий на подложки из стекла с высокой производительностью и применяется для производства сенсорных панелей. Оборудование предназначено для двустороннего нанесения металлов.

 

Основные характеристики:

  • Линейная система с вертикальной организацией напыления
  • Зона напыления поколение G5+ 1150×1350 мм
  • Возможность работы с органическими масками
  • Загрузка-выгрузка подложек в одной точке чистой комнаты, отсутствие необходимости в возвратном конвейере
  • Использование турбомолекулярной откачки для снижения времени обслуживания и снижения сроков запусков системы.
  • Одно или двухстороннее нанесение пленок за один проход (в зависимости от конфигурации системы)
  • Транспортная система организована днище камеры с отсутствием трущихся частей в зоне напыления, что позволяет организовать бездефектное напыление за счет низкой генерации частиц
  • Организация симметричной откачки зоны напыления для гарантированной равномерности напыления
  • Организация движений кареток без зазора в зоне напыления для эффективного использования распыляемых мишеней
  • Система управления реактивным распылением для высокоскоростного распыления
  • Инфракрасный нагрев подложек
  • Время цикла от 35 секунд — в зависимости от технологического процесса.
Наносимые атериалы
 
Al, Mo и другие

 

Список продукции