Lidiz

Вакуумное оборудование LIDIZ предназначено для нанесения прецизионных оптических покрытий для лазерного применения.

Осаждение материала происходит способом ионно-лучевого распыления. Загрузка/выгрузка подложкодержателя осуществляется через шлюзовую камеру. 

Подложкодержатель представляет собой диск диаметром 320 мм.  Равномерность покрытий в зоне подложкодержателя от от D=200мм до D= 285 мм составляет +/-  0.5%. Эффективная площадь нанесения с учетом свидетелей составляет 375cm2 .

Контроль толщины напыляемой пленки – спектральный оптический по прозрачному свидетелю. Диапазон оптического контроля 350-1050нм. Разрешающая способность 1нм. Работа оптического контроля основана на спектральном широкополосном измерении пропускания свидетеля.

Система управления обеспечивает проведение технологического процесса в ручном или автоматическом режимах.

Список продукции