Ortus 1100

Назначение:

Вакуумное технологическое оборудование серии Ortus применяется для нанесения оптических покрытий электронно-лучевым методом с ионно-лучевым ассистированием на различные типы подложек.

Отличительные особенности вакуумной установки Ortus:

·     Высокая скорость откачки

·     Возможность нанесения покрытий на крупногабаритные подложки

·     Высокая равномерность покрытий

Технические характеристики вакуумной установки Ortus 1100

Параметры, характеристики

Величина

Диаметр вакуумной камеры, мм

1120

Высота вакуумной камеры, мм

1135

Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки,  не выше, Па

5 х10-5

Время достижения предельного остаточного давления, не более, ч

8

Время достижения давления  8х10-4 Па (без прогрева) в чистой камере с оснасткой  с момента открытия затвора, не более, минут

40

Натекание в камеру после прогревания её при температуре 300°С в течение 10 часов и последующей откачки воздуха из камеры до 8 х 10-4  в течение часа при закрытом форвакуумном клапане  и затворе, не более, л*Па/с

1 х 10-2

Контролируемый диапазон рабочего давления в камере при напуске технологического газа, Па

1 х 10-2 - 4 х 10-2

Контролируемый диапазон температуры прогрева рабочего объема камеры в зоне подколпачной арматуры, оС

50-350

Мощность ЭЛИ, не более, кВт

6

Мощность источника ионной очистки, не более, кВт

1

Плавная регулировка скорости вращения карусели, об-мин

5-15

Неравномерность покрытий по толщине для всей сферической поверхности куполообразного секторного подложкодержателя не более, %

+/-2,5

Неравномерность покрытия по толщине для сателлита планетарного механизма  не более, %

+/-1,5

Масса, не более, кг,

2500

Также вы можете ознакомится с другими вакуумными установками серии Ortus:

- Вакумное оборудование Ortus 700;

- Вакуумное оборудование Ortus 1500.

Список продукции