Ortus 1500

Решение для нанесения оптических покрытий на подложки больших размеров. Оборудование позволяет  наносить тонкопленочные покрытия на квадратные подложки со стороной до 420 мм.  С оборудованием поставляется устройство загрузки, которое позволяет загружать и снимать тяжелые и крупногабаритные подложки.

            Технические характеристики

Камера

1500 мм

Производительность / загрузка

3-6 подложек в смену

Откачные средства

ВТО оснащено пластинчато-роторным насосом  для предварительной откачки и системой
высоковакуумной откачки на турбомолекулярных насосах.

Рабочий вакуум, Па

В зависимости от техпроцесса

Предельный вакуум,Па

2*10-4 Па

Контроль покрытий

Система контроля покрытий представлена системой оптического контроля и системой кварцевого контроля. Свидетели системы оптического контроля и кварцевые таблетки системы кварцевого контроля размещены в узле контроля, который предназначен для автоматической их смены.
Диапазон оптического контроля, нм:
одноволновой:
380-1100, 380-1700, 380-2600, 1200-5000,380-5000, 200-1100, 200-1700, 200-2600, 200-5000

спектральный:
380-740, 380-1100, 1000-1700, 200-1100, 380-1700

Подложкодержатель

Планетарного типа

Нагрев

ИК лампы (нижнее расположение)

Технологические устройства

Электронно-лучевой источник, резистивный испаритель (возможна опция), ионный источник очистки

Требования к ресурсам

Вода

Дистиллированная

Сжатый воздух

Осушенный, давление воздуха 6-8 кг/см2, качество кл 7 ГОСТ17433.

Электроэнергия

Напряжение – 380/220 В ±10%, частота - 50 Гц. ±2%

Аргон

Давление – 0,1±0,01 МПа, Качество –  по ГОСТ 10157-79, чистота 99,99%, Расход - не более 0.2 л/мин

Кислород

Давление – 0,1±0,01 МПа,  Качество – по ГОСТ 5583-78, чистота 99,7%, Расход - не более 0.2 л/мин

Занимаемая площадь

22 м2

Масса

5000 кг

Также вы можете ознакомится с другими вакуумными установками серии Ortus:

- Вакуумное оборудование Ortus 700;

- Вакуумное оборудование Ortus 1100.

Список продукции