SE-200

Вакуумная установка "чистый сканер" для дисплейного применения. Вакуумная установка SE-200 разработана для получения новых типов покрытий, применяемых в органических дисплеях. Данные вакуумные установки особенно эффективны для получения тонкопленочных герметизирующих покрытий на основе Si3N4, а также прозрачных проводящих покрытий с улучшенными характеристиками. Легкая интеграция вакуумных установок SE-200 в новые и существующие производственные линии OLED дисплеев обеспечена применением дополнительной шлюзовой замеры, имеющей индивидуальную высоковакуумную систему откачки и высоковакуумный робот-манипулятор.

Назначение:

  • Нанесение герметизирующих слоев на основе Si3N4 и SiO2;
  • Нанесение прозрачных проводящих покрытий с улучшенными характеристиками.

Применение:

  • OLED дисплеи.

Отличительные особенности:

  • Ионно-лучевой источник распыления с четырехпозиционным узлом сменных мишеней обеспечивает широкие возможности по проведению как исследовательских работ, так и осуществлению производства тонкопленочных структур различного состава и сложности;
  • Применение ионно-лучевых технологий компании Изовак для нанесения покрытий непосредственно на органические структуры без ухудшения их характеристик успешно подтверждено нашими заказчиками;
  • Очень низкий уровень генерации частиц при нанесении покрытий достигается за счет особой конструкции механизма перемещения ионных источников, практически не имеющего пар трения;
  • Интеграция в исследовательские или производственные OLED линии обеспечена, при необходимости, шлюзовой камерой с высоковакуумным роботом-загрузчиком;
  • Размер обрабатываемых подложек 200x200 мм и 370x470 мм;
  • Нагрев подложек может устанавливаться по заказу;
  • Конструкция вакуумной установки соответствует требованиям чистых помещений Class 1000.
Список продукции