Versus 74

Отличительные особенности:

- одностороннее либо двухстороннее напыление

- ионный источник очистки

Технические характеристики

Размеры обрабатываемых подложек

48х60х1,0; 48х60х0,5; 48х60х0,25; 30х24х0,3; 30х24х0,2 мм

Материалы подложек

поликор, ситалл и пр.

Количество одновременно обрабатываемых подложек 48х60

не менее 40 шт.

Способ нанесения покрытия

нанесение покрытий методом термического испарения, опционально возможна установка магнетронного распыления

Технологические устройства

Резистивный испаритель, мощность 2кВт – 1 шт;

Электронный испаритель с кольцевым катодом, мощность 2,5кВт – 2шт;

Источник ионной очистки.

Температура нагрева подложек

до 300оС.

Разброс температур по карусели – не более ± 5оС.

Точность установки температуры – не более ± 5оС.

Разброс толщины запыленной пленки по карусели

не более ±5%.

Контроль толщины напыленной пленки

по кварцевому датчику

Резистивный образец – «свидетель» изготавливается на ситалловой подложке, размеры 30,0 х 3 мм, между сформированными контактными площадками окно для запыления длиной 6 мм (2 квадрата

Скорость вращения карусели

регулируемая в диапазоне 0 ÷ 30 об/мин

Система откачки

 высоковакуумный турбомолекулярный насос;

 низковакуумный спиральный насос.

Предельное остаточное давление

8х10-5Па.

Время откачки до давления 2·10-4 Па

не более 30 минут

Охлаждение

от установленного рециркулятора, для охлаждения технологических устройств

 

Список продукции