Подложкодержатель для оборудования Ortus с поворотным механизмом

Подложкодержатель с поворотным механизмом для электронно-лучевой вакуумной установки Ortus.

Купол подвешен на ввод вращения. Купол состоит из арматуры купола и 6 секторов с подложками. Сектора переворачивает механизм, установленный с боковой стороны камеры. Сектора в арматуре легкосъемные.

 

Переворотный сектор.

 

Сектор предназначен для удержания 7 подложек 60*48 с толщиной от 0,25 до 0,5мм и от 0,5 до 1мм с прокладкой дистанционной.

 

 

 

0,25-0,5мм

 

 

 

 

 

 

Установка образцов осуществляется по следующему алгоритму.

·         Сектор снимается с арматуры.

·         Откручиваются винты крепления рамки сектора.

·         Снимается рамка.

·         Устанавливаются образцы, если нужен другой типоразмер подложек по толщине необходимо установить прокладку дистанционную.

·         Устанавливается рамка и закрепляется  винтами 8шт.

·         Сектор устанавливается в арматуру.

Образцы в окнах держатся за уголки, для удобства укладывания образцов на двух гранях (48мм) сделана еще ступенька 0,5мм в основании, чтобы образцы не проваливались во время укладки их в сектор.